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超纯水设备水质标准 高纯水水质试行标准
发布者:皓泉水处理 发布日期:2017-09-26 浏览

我国电子工业部高纯水水质试行标准

化学指标单位:μg/L

序号

水质项目

一级高纯水指标

二级高纯水指标

1

电阻率(25℃)MΩ·cm

15

10

2

电导率,μs/cm

0.05

0.1

3

PH

6.87.2

6.67.4

4

细菌总数,个/mL

3

9

5

微粒(直径>0.5μm,粒/mL

150

300

6

二氧化硅

10

20

7

有机物(以COD计)

0.3

0.5

8

Na

0.5

2

9

Fe

1

2

10

Cu

0.5

1

11

Ca

1

3

12

Mg

0.2

1

13

Zn

0.5

1

14

Mn

0.2

0.5

说明:一级高纯水适用于大规模集成电路,微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。
二级高纯水适用于一般电路,分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。
本表按1980年电子工业部标准摘录。

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